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一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU-8模具的制造方法
- 专利权人:
- 西北工业大学
- 发明人:
- 马炳和,张忠刚,罗剑,王善忠
- 申请号：
- CN201911045358.5
- 公开号：
- CN110787361A
- 申请日:
- 2019.30.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法,属于微纳制造工艺领域。该微针阵列,金属材料为可电镀金属,空心倾斜金属微针呈斜圆锥状,倾斜角度为50°~70°;垂直高度为500μm~650μm;空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构,壁厚为8μm~10μm;空心倾斜金属微针底部外径为150μm~250μm;空心倾斜金属微针锥角为10°~15°,空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上,避免了传统接触式曝光存在气隙的问题,提高到达各层光刻胶的紫外线光强,微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat,提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性,同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端,实现了金属微针尖端结构。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
