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流体注入装置、及び、輸送状態判定方法
专利权人:
SEIKO EPSON CORP
发明人:
UCHIYAMA IKUHIRO,内山 行宏,MOMOSE YOSHIHIKO,百瀬 嘉彦
申请号:
JP2013207969
公开号:
JP2015070933A
申请日:
2013.10.03
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To determine a transportation state of fluid.SOLUTION: A fluid injection apparatus includes: a channel member 2601 which transports fluid a cylindrical part 2601a which is provided in the channel member 2601 and has a film member 2602 a measurement part 122 which measures displacement of the film member 2602 and a determination part which determines the transportation state of the fluid on the basis of the displacement of the film member 2602.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】流体の輸送状態を判定すること。【解決手段】流体を輸送する流路部材2601と、流路部材2601に設けられ、膜状部材2602を有する筒部2601aと、膜状部材2602の変位を計測する計測部122と、膜状部材2602の変位に基づいて、流体の輸送状態を判定する判定部と、を備える流体注入装置である。【選択図】図12
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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