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Method and apparatus for interferometry with low coherence
专利权人:
TOPCON CORPORATION
发明人:
KIM, Jongsik,DONG, Ying,MEI, Song,Chan, Kinpui,WANG, Zhenguo,MAO, Zaixing
申请号:
DE19218145
公开号:
DE19218145T1
申请日:
2019.12.19
申请国别(地区):
DE
年份:
2020
代理人:
摘要:
Abbildungsverfahren, umfassend:Erfassen eines Bilddatensatzes eines Objekts mit einem interferometrischen Abbildungssystem, wobei der Bilddatensatz Bilddaten von einer Position des Objekts zu einem ersten Zeitpunkt und zu einem zweiten Zeitpunkt umfasst;Bestimmen eines ersten Tiefenprofils aus den Bilddaten von der Position zum ersten Zeitpunkt und eines zweiten Tiefenprofils aus den Bilddaten der Position zum zweiten Zeitpunkt;Bestimmen einer Änderung in Bezug auf die Tiefe zwischen dem ersten Tiefenprofil und dem zweiten Tiefenprofil; undBestimmen einer Eigenschaft oder Identifizieren einer Position mindestens eines dynamischen Teilchens im Objekt basierend auf der Änderung zwischen dem ersten Tiefenprofil und dem zweiten Tiefenprofil.An imaging method comprising: acquiring an image data set of an object with an interferometric imaging system, the image data set comprising image data from a position of the object at a first point in time and at a second point in time; determining a first depth profile from the image data from the position at the first point in time and a second Depth profile from the image data of the position at the second point in time; determining a change in relation to the depth between the first depth profile and the second depth profile; anddetermining a property or identifying a position of at least one dynamic particle in the object based on the change between the first depth profile and the second depth profile.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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