Providing a sterilization apparatus which radicals can be sterilized at low cost and reliable processing object and thereby generating a high density and oxygen (OH) radicals present invention relates hydroxy (O) radicals. Is maintained at low pressure by a low pressure maintaining means 2 the storage means 1 for storing the [SOLUTION] medical device 6, to supply the steam gas from the vapor gas generating means 3 to the housing means 1, and radical oxygen water vapor gas Since so as to generate oxygen and (OH) radicals hydroxy (O) radical generation means 4 is radicalized, it is to be maintained as a single long and oxygen (OH) radicals hydroxy (O) radical, and densely be able to be generated, it can be sterilized at low cost and ensure the medical device 6. [Selection] Figure Figure 1【課題】 ヒドロキシ(OH)ラジカル及び酸素(O)ラジカルを高密度に発生させて被処理物を確実且つ安価に滅菌することができるラジカル滅菌装置を提供する。【解決手段】 医療器具6を収納する収納手段1を低気圧維持手段2により低気圧に維持し、この収納手段1に水蒸気ガス発生手段3から水蒸気ガスを供給し、この水蒸気ガスの酸素をラジカル生成手段4がラジカル化してヒドロキシ(OH)ラジカル及び酸素(O)ラジカルを生成するようにしているので、ヒドロキシ(OH)ラジカル及び酸素(O)ラジカルを長時間単体として維持させると共に、高密度に発生させることができることとなり、医療器具6を確実且つ安価に滅菌できる。【選択図】 図1