PROBLEM TO BE SOLVED: To provide super-low fouling materials useful in a coating for a hull implantation biomaterial, a biomedicinal diagnosis sensor, and a drug delivery, and to provide a super-low fouling coating containing the materials, and a device having the coating on its surface.SOLUTION: A substrate having a super-low fouling surface containing a monomolecular layer of sulfobetaine or carboxybetaine materials is provided by (a) forming a monomolecular layer having a radical initiator at a terminal on a substrate surface, and (b) polymerizing monomers on the monomolecular layer having the radical initiator at its terminal, wherein acrylate containing sulfobetaine or carboxybetaine group, acrylamide, a vinyl compound, or epoxide is used as the monomers. The surface of the substrate has no defect larger than approx. 1 nmand has a fibrinogen absorption of less than approx. 30 ng/cm.【課題】船殻移植生体材料、生物医学的診断センサー、および薬剤送達のためのコーティングにおいて有用な超低汚損材料及び該材料を含有する超低汚損皮膜並びに表面に該皮膜を有する装置の提供。【解決手段】スルホベタイン又はカルボキシベタイン基を含有するアクリレート、アクリルアミド、ビニル化合物、エポキシド等をモノマーとして、(a)基材表面にラジカル開始剤を末端に持つ単分子層を形成すること;及び(b)ラジカル開始剤を末端に持つ単分子層上で、上記モノマーを重合することにより、スルホベタイン又はカルボキシベタイン材料の単分子層を含む超低汚損表面を有する基材を提供する。この基材は、前記表面が約1nm2より大きな欠陥を有さず、約30ng/cm2未満のフィブリノゲン吸着を有する。【選択図】なし