PROBLEM TO BE SOLVED: To speed up the collection or operational processing of the beam data from a multichannel type monitor.SOLUTION: This data collection device includes a multiplexer 13 for selecting one of a plurality of the channel data based on the analogue signals from a multichannel type sensor device 22, an A/D converter 14 for converting the channel data selected by the multiplexer 13 to A/D conversion data, a channel selection circuit 16 for controlling the multiplexer 13 and the A/D converter 14, and a data collecting operational circuit 17 for operating the state of charged corpuscular beam 1 on the basis of a plurality of the A/D conversion data. The channel selection circuit 16 has a channel setting register 18 for storing the data of the selection channel outputted to the data collecting operational circuit 17 of a plurality of the detection channels of the multichannel type sensor device 22 to successively output the A/D conversion data of the selection channel to the data collecting operational circuit 17 on the basis of the data of the selection channel.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】多チャンネル型のモニタからのビームデータの収集や演算処理を高速化することを目的とする。【解決手段】多チャンネル型センサ装置22からのアナログ信号に基づいたチャンネルデータの複数から一つを選択するマルチプレクサ13と、マルチプレクサ13で選択されたチャンネルデータをAD変換データに変換するAD変換器14と、マルチプレクサ13及びAD変換器14を制御するチャンネル選択回路16と、複数のAD変換データに基づいて荷電粒子ビーム1の状態を演算するデータ収集演算回路17を備える。チャンネル選択回路16は、多チャンネル型センサ装置22の複数の検出チャンネルのうちデータ収集演算回路17に出力する選抜チャンネルの情報を記憶するチャンネル設定レジスタ18を有し、選抜チャンネルの情報に基づいて選抜チャンネルのAD変換データを順次データ収集演算回路17に出力する。【選択図】図3
