生产含磷化氢气体的方法和装置
- 专利权人:
- 迪格什智利有限公司
- 发明人:
- 弗朗西斯卡斯·H·费加,克里斯托弗·赖克马特
- 申请号：
- CN96107633.X
- 公开号：
- CN1163408C
- 申请日:
- 1996.06.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2004
- 代理人:
- 范明娥
- 摘要：
- 本发明公开了一种生产磷化氢和稀释气体混合物的方法和装置。将一种可水解的金属磷化物，优选磷化镁，在对磷化氢呈惰性的气氛下，以由松散金属磷化物组成的自由流动形式释放到液体水中。产生的磷化氢和惰性载气如CO2的混合物例如是在用于熏蒸前在气体混合室中用空气稀释至浓度低于燃烧极限以下。采用氢气作为载气时，磷化氢混合物适用于半导体掺杂。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
