用于监测电子束强度的方法和装置

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专利权人:

KHS有限责任公司

发明人:

G·凯尔,A·蒙策尔

申请号：

CN201080004718.8

公开号：

CN102282642B

申请日:

2010.04.20

申请国别(地区):

CN

年份:

2014

代理人:

摘要：

所述方法和装置用于监测电子束的强度。为了探测所述电子束强度的变化，探测和评估所述电子束直接或间接产生的电磁辐射。这尤其是指紫外线辐射和/或可见光范围内的辐射。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/