Mitsubishi Electric Corporation;岩田 高明;PU Yuehu;蒲 越虎;IWATA Takaaki;三菱電機株式会社
发明人:
IWATA Takaaki,岩田高明,PU Yuehu,蒲越虎
申请号：
JPJP2011/059169
公开号：
WO2012/008190A1
申请日:
2011.04.13
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要：
Provided is a particle beam irradiation apparatus which uses a plurality of sets of scanning magnets, has a high precision, and which is capable of charged particle beam scanning from low speed to high speed with a high degree of freedom. A particle beam irradiation apparatus, which scans an incident charged particle beam along target trajectories in two directions, which are an X-direction and a Y-direction, which are perpendicular to the direction of progression of the charged particle beam so as to irradiate an object, is equipped with a plurality of sets of scanning magnets for scanning the charged particle beam in the two directions. The target trajectories are given as time-series target trajectory data for which target irradiation positions corresponding to the times have been determined. Commanded values of each of the scanning magnets of the plurality of sets of scanning magnets are generated on the basis of a plurality of data for which the time-series target trajectory data have been frequency-separated.L'invention concerne un dispositif d'irradiation à faisceau de particules qui met en œuvre une pluralité d'ensembles d'électroaimants de balayage, fait preuve d'une précision élevée, et permet un balayage par faisceau de particules chargées présentant un degré élevé de liberté d'une petite à une grande vitesse. Un faisceau de particules chargées incident, est soumis à un balayage sur une trajectoire cible à deux directions, direction X et direction Y, perpendiculaire à la direction de progression du faisceau de particules chargées. La pluralité d'ensembles d'électroaimants de balayage qui assure le balayage du faisceau de particules chargées dans les deux directions, équipe le dispositif d'irradiation à faisceau de particules qui irradie l'objet de l'irradiation. La trajectoire cible est dictée par des données de trajectoire cible en série chronologique dans lesquelles sont décidés des positionnements d'irradiation cible correspondant au temps. Sur la base
