MATERIAL CHARACTERIZATION USING ION CHANNELING IMAGING
- 专利权人:
- FEI Company
- 发明人:
- Randolph Steven,Rue Chad
- 申请号：
- US201615354972
- 公开号：
- US2018136147(A1)
- 申请日:
- 2016.11.17
- 申请国别(地区):
- 美国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- A system and method of characterizing a work piece, comprising:
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
