BET surface area of 0.1 m2 / g to 7 m2 / g, packing density of 35 lb / ft3 to 55 lb / ft3, Einleiner polishing value of 8 mg loss / 100,000 revolutions to 25 mg loss / 100,000 revolutions, 0.7 cc / g to 1.2 cc Disclosed are silica particles having a total mercury intrusion pore volume of / g and a stannous compatibility of 70% to 99%, and methods of making these silica particles.0.1m2/g~7m2/gのBET表面積、35lb/ft3~55lb/ft3の充填密度、8mg損失/100000回転~25mg損失/100000回転のアインレーナー研磨値、0.7cc/g~1.2cc/gの総水銀圧入細孔容積、および70%~99%の第一スズ適合性を有するシリカ粒子、ならびにこれらのシリカ粒子の製造方法が開示される。