An wavefront sensor uses a calibration wave generator to calculate correction factors to be applied to ratiometric combinations of position sensor output signals to determine real centroid deflection values.一種波前感測器使用一校準波產生器來計算欲應用於位置感測器輸出信號之比率量測組合以判定真實質心偏轉值之校正因子。202‧‧‧補償透鏡或窗204‧‧‧第一透鏡212‧‧‧微電子機械系統(MEMS)光束掃描/移位/偏轉鏡216‧‧‧第二透鏡218‧‧‧波前取樣光圈220‧‧‧子波前聚焦透鏡222‧‧‧象限偵測器235‧‧‧發光二極體(LED)(或陣列)240‧‧‧第三透鏡242‧‧‧第四透鏡252‧‧‧反射鏡260‧‧‧成像光束分光器261‧‧‧二向色或短通光束分光器262‧‧‧影像感測器264‧‧‧注視目標266‧‧‧注視/成像光束分光器268‧‧‧透鏡或透鏡集合270‧‧‧透鏡或透鏡集合272‧‧‧超發光二極體(SLD)274‧‧‧偏光光束分光器(PBS)276‧‧‧帶通濾波器277‧‧‧光圈278‧‧‧動態波前/散焦抵銷器件280‧‧‧掃描鏡282‧‧‧掃描鏡284‧‧‧超發光二極體(SLD)光束形狀操縱透鏡286‧‧‧透鏡288‧‧‧單模光纖(諸如,維持偏光(PM)單模光纖)290‧‧‧光纖耦合器292‧‧‧參考臂294‧‧‧偵測器299‧‧‧內部校準目標
