X射线探测器的信号读出装置和方法
- 专利权人:
- 天津大学
- 发明人:
- 史再峰,李杭原,孟庆振,曹清洁,罗韬
- 申请号:
- CN201710812228.4
- 公开号:
- CN107765291A
- 申请日:
- 2017.09.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明主要涉及X射线能谱的探测,为提出一种高精度的电荷‑数字域信号混合累加读出的方法,X射线探测器的信号读出装置和方法,结构包括:衬底部分、埋层部分作为探测器的主体完成X射线的接收及光电信号的转化,衬底部分尺寸以全部吸收待探测能谱范围内的X射线光子为宜;热氧化生长的氧化物实现衬底部分与电极的电绝缘隔离,埋层部分则与电极相连通;所述电极为多晶硅或金属材料,顺序排布于热氧化生长的氧化物中,每个电极都通过金属导线连接至时序控制单元,时序控制单元控制相邻电极高低电平周期性变化,实现电荷包的顺序读出。本发明主要应用于X射线能谱的探测设备设计制造场合。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心