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광간섭 단층화상 촬상 장치, 광간섭 단층화상 촬상 방법 및 컴퓨터에 의해 판독가능한 저장 매체
专利权人:
发明人:
히로세 후또시,야마다 가즈로,미야따 가즈히데,무또 겐지,도마쯔 노부히로
申请号:
KR1020107026950
公开号:
KR1012539490000B1
申请日:
2009.05.07
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要:
light, which can reduce the imaging time coherence tomography images (optical coherence tomography, OCT) imaging device and the corresponding method are provided. The optical apparatus includes a first light beam diameter of measurement light incident on the unit, the first change to the second beam diameter larger than the diameter of the light beam to the light beam diameter varying portion 21. Adjustment stage is to adjust the position of the focusing optical section 20 on the basis of the return light intensity information from the position of the inspected object 12 of the first light beam diameter. Adjusting the light beam diameter by the light beam diameter varying portion 21 at the position adjusted by the stage is changed from a first diameter to a second light beam diameter of the light beam, the measuring light having the second light beam diameter is incident on the inspected object (12) . Since the light beam diameter of measurement light is used a relatively small converging optical section 20 can be adjusted in a short time, the light beam diameter is large because of the measuring light can be synthesized light of the reference light and has a high lateral resolution is obtained using there.촬상 시간을 단축할 수 있는 광간섭 단층화상(optical coherence tomography, OCT) 촬상 장치 및 대응 방법이 제공된다. 장치는 광학부에 입사하는 측정광의 제1 광속 직경을, 제1 광속 직경보다 큰 제2 광속 직경으로 변경시키는 광속 직경 가변부(21)를 포함한다. 조정 스테이지는 제1 광속 직경에 있어서의 피검사물(12)의 위치로부터의 복귀광의 강도 정보에 기초하여 집광 광학부(20)의 위치를 조정한다. 조정 스테이지에 의해 조정된 위치에서 광속 직경 가변부(21)에 의해 광속 직경이 제1 광속 직경에서 제2 광속 직경으로 변경되어, 제2 광속 직경을 갖는 측정광이 피검사물(12)에 입사된다. 광속 직경이 작은 측정광이 사용되기 때문에 상대적으로 짧은 시간 안에 집광 광학부(20)가 조정될 수 있고, 광속 직경이 큰 측정광이 사용되기 때문에 참조광과의 합성광이 높은 횡분해능을 가지고 취득될 수 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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