集成式大流量磷化氢减压释放装置
- 专利权人:
- 深圳达实智能股份有限公司
- 发明人:
- 方庆琯
- 申请号：
- CN00234062.3
- 公开号：
- CN2444424Y
- 申请日:
- 2000.05.08
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2001
- 代理人:
- 陈红
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种磷化氢气体减压释放装置,包括一加热器;一进口管接头;一出口管接头;以及一减压器;其特征在于所述加热器包括集成块体;流道,设置于所述集成块体内,一端通过所述进口管接头与高压气瓶密封连接,另一端通过所述出口管接头与所述减压器密封连接;加热热源,均布插装于所述集成块体中;以及温度控制机构,设置于所述集成块体上。本实用新型释放流量大于25升/分钟,可自动将PH3温度控制在安全范围内,便于集成安装。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
