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一种电子皮肤及其制备方法
专利权人:
GUANG DONG DONGBOND TECHNOLOGY CO.; LTD.;广东东邦科技有限公司;GUANG DONG DONGBOND TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人:
LIU, Ping,刘萍
申请号:
CNCN2015/095549
公开号:
WO2016/091070A1
申请日:
2015.11.25
申请国别(地区):
CN
年份:
2016
代理人:
摘要:
An electronic skin and a manufacturing method therefor. The electronic skin comprises an oxide thin film transistor, a pressure sensor and a temperature sensor which are installed on a flexible substrate (50). The pressure sensor and the temperature sensor are respectively located on two sides of the flexible substrate (50). The oxide thin film transistor comprises a first thin film transistor and a second thin film transistor. The pressure sensor is used for driving the first thin film transistor, and the temperature sensor is used for driving the second thin film transistor. The manufacturing method involves performing etching and deposition on the flexible substrate (50) with both surfaces covered by conductive materials to form the oxide thin film transistor, the pressure sensor and the temperature sensor. The electronic skin can measure the pressure and the temperature simultaneously, and has the advantages of simple structure, low power consumption, high sensitivity and little interference between sensor signals.L'invention concerne une peau électronique et son procédé de fabrication. La peau électronique comprend un transistor à film mince d'oxyde, un capteur de pression et un capteur de température qui sont installés sur un substrat flexible (50). Le capteur de pression et le capteur de température sont respectivement situés sur deux côtés du substrat flexible (50). Le transistor à film mince d'oxyde comprend un premier transistor à film mince et un second transistor à film mince. Le capteur de pression est utilisé pour entraîner le premier transistor à film mince, et le capteur de température est utilisé pour entraîner le second transistor à film mince. Le procédé de fabrication consiste à effectuer une gravure et un dépôt sur le substrat flexible (50) avec les deux surfaces recouvertes par des matériaux conducteurs pour former le transistor à film mince d'oxyde, le capteur de pression et le capteur de température. La peau électronique peut mesurer la press
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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