一种柔性传感器阵列、触诊探头及其制备方法
- 专利权人:
- 北京先通康桥医药科技有限公司
- 发明人:
- 宋军华,王洪超,何常德,薄云峰,吴远星,薛黄琦,王晓琴,何静
- 申请号：
- CN201910003796.9
- 公开号：
- CN109721023A
- 申请日:
- 2019.03.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提出了一种基于柔性绝缘材料隔离的传感器面阵及其制备方法,具体通过在晶圆层级制备完成传感器阵列之后,通过刻蚀隔离所述传感器阵列的深沟槽,并在深沟槽中埋置柔性绝缘材料,切割后的传感器阵列,由于柔性绝缘材料作为间隔具有挠性,可以弯曲,从而可以制备出曲面触诊探头或者球面触诊探头。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
