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금속 필터의 제조 방법
专利权人:
히타치가세이가부시끼가이샤
发明人:
스즈키, 다카히로,간바라, 히사시게,기쿠하라, 요시히토,스즈키, 교스케
申请号:
KR1020187011438
公开号:
KR1020180049826A
申请日:
2012.10.09
申请国别(地区):
KR
年份:
2018
代理人:
摘要:
A step of laminating a photosensitive resin composition on a copper substrate to form a photosensitive resin composition layer and a step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with an actinic ray to photo-cure the exposed portion to form a cured product of the photosensitive resin composition A development step of removing a portion other than the cured product of the photosensitive resin composition in the photosensitive resin composition layer by development to form a resist pattern made of a cured product of the photosensitive resin composition on the copper substrate A plating step of forming a plating layer by metal plating the formed copper substrate a dissolution step of removing the copper substrate by chemical dissolution to obtain a structure composed of a plated layer and a cured product of the photosensitive resin composition And a peeling step of obtaining a plating layer, Production method of the metal filter, the metal filter is useful because it can produce a damage, and a metal filter without any distortion of the fine through-holes, such as wrinkles, bending, scratching, curling.구리 기판 상에 감광성 수지 조성물을 적층하여 감광성 수지 조성물층을 형성하는 적층 공정과, 감광성 수지 조성물층의 소정 부분에 활성 광선을 조사하여, 노광된 부분을 광 경화시켜 감광성 수지 조성물의 경화물을 형성하는 노광 공정과, 감광성 수지 조성물층 중 감광성 수지 조성물의 경화물 이외의 부분을 현상에 의해 제거하여, 구리 기판 상에 감광성 수지 조성물의 경화물로 이루어지는 레지스트 패턴을 형성하는 현상 공정과, 레지스트 패턴이 형성된 구리 기판을 금속 도금하여 도금층을 형성하는 도금 공정과, 구리 기판을 화학적 용해에 의해 제거하여, 도금층 및 감광성 수지 조성물의 경화물로 이루어지는 구조물을 얻는 용해 공정과, 구조물로부터 감광성 수지 조성물의 경화물을 제거하여, 도금층을 얻는 박리 공정을 포함하며, 도금층이 금속 필터인 금속 필터의 제조 방법은, 주름·꺾임·긁힘·컬링 등의 손상, 및 미세한 관통 구멍의 변형이 없는 금속 필터를 제조 가능하기 때문에 유용하다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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