The long life compared to a mercury lamp, for low power consumption is deep ultraviolet light emitting diode as a light source with a UV sterilization device, it is possible to examine the core of the high-intensity ultraviolet light to the killed cells can be carried out effectively the sterilization, yet the maintenance it is easy to provide a sterilizer manufactured compact as possible. The UV sterilizer for performing sterilization around the deep ultraviolet to examine the configured passage 140 to the flow cells were killed with ultraviolet transmitting material such as quartz, the deep ultraviolet light-emitting LED or the like a plurality of ultraviolet light emitting element disposed to the module 110, the light source hwahan and, a deep ultraviolet light emitted from each of the ultraviolet light-emitting device of the module, for example, placed around the flow path of the original long hit by the condenser screen 120 unit 130 for condensing such with a reflection mirror, the light converging the deep ultraviolet condensed by the equipment was to investigate the killed cells.수은 램프에 비해 수명이 길고, 소비 전력도 낮은 심 자외선 발광 다이오드를 광원으로서 사용한 자외선 살균 장치에 있어서, 피살균체에 고강도의 심 자외선을 조사할 수 있기 때문에 효율적으로 살균을 행할 수 있고, 게다가 메인터넌스가 용이하여, 컴팩트화가 가능한 살균 장치를 제공한다.석영 등의 자외선 투과성 재료로 주위가 구성된 유로(140)를 흐르는 피살균체에 심 자외선을 조사해 살균을 행하는 자외선 살균 장치에서, 심 자외선 발광 LED 등의 자외선 발광 소자를 복수 배치해 모듈(110)화한 광원과, 상기 모듈 중의 각 자외선 발광 소자로부터 출사되는 심 자외선을, 예를 들어 장타원 반사 미러 등을 이용해 집광하는 집광 장치(120)를 유닛(130)화하여 상기 유로의 주위에 배치하고, 상기 집광 장치에 의해 집광된 심 자외선을 피살균체에 조사하도록 하였다.