The chemical solution filling unit includes a chemical solution storage device and a filling adapter. The chemical solution storage device includes a chemical solution storage unit that stores the chemical solution. The chemical solution storage unit has a filling port and a liquid feeding port. The filling adapter includes a ventilation needle tube, a liquid feeding needle tube, and a suction passage. The needle tube for liquid feeding is connected to the chemical liquid container and the filling port, and the chemical liquid fed from the chemical liquid container to the chemical liquid storage unit passes therethrough. The suction passage communicates with the liquid feeding port and communicates with a suction mechanism that sucks the gas in the chemical liquid storage unit.薬液充填ユニットは、薬液貯蔵具と、充填アダプタと、を備えている。薬液貯蔵具は、薬液を貯蔵する薬液貯蔵部を備えている。薬液貯蔵部は、充填ポート及び送液ポートを有する。充填アダプタは、通気用針管と、送液用針管と、吸引通路と、を備えている。送液用針管は、薬液容器及び充填ポートに接続し、薬液容器から薬液貯蔵部へ送り込まれる薬液が通過する。吸引通路は、送液ポートと連通し、薬液貯蔵部内の気体を吸引する吸引機構と連通する。
