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用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器及其制造方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 李晓平,夏金松,史铁林,张虹,李贵刚,汤自荣,赵英俊
- 申请号：
- CN201910249644.7
- 公开号：
- CN110013218A
- 申请日:
- 2019.29.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器的制造方法,属于动态眼压测量领域,包括:在硅衬底上旋涂光刻胶,显影、定影得到由剩余光刻胶形成的微纳米尺寸图纹;以剩余光刻胶做掩膜,利用干法刻蚀硅衬底,得到纳米尺寸图纹;除去剩余光刻胶,得到硅凹模,将其图纹复制到树脂片;在所述树脂片上喷银,然后进行微电铸,将树脂片上的图纹复制在镍片上,得到镍凹模;将制造隐形眼镜的液态原料或固态毛坯注入镍凹模进行铸压,得到用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器。本发明提供了用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器的产业化制造方法,从而为临床应用与研究提供了产业化基础。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
