Zur Reinigung, Desinfektion und Sterilisierung von Gegenständen hat eine Vorrichtung eine gegenüber Überdruck und Vakuum dichte Kammer (4), in der Kammer (4) angeordnete Mittel (23) zur Erzeugung von Flüssigkeitsaerosolen und mindestens eine Quelle (36) zur Erzeugung eines Vakuums in der Kammer (4). Folgende wesentliche Schritte werden durchgeführt:Vorreinigen durch Besprühen mit Wasseraerosolen unter gleichzeitiger Erhöhung des Druckes in der Kammer über Atmosphärendruck Reinigen der Gegenstände durch Besprühen mit Wasser- und Reinigungsmittel, insbesondere in Form von Aerosolen Neutralisieren mit (VE-)Wasser und Neutralisationsmittel unter gleichzeitiger Erhöhung des Druckes in der Kammer über Atmosphärendruck Nachspülen der Gegenstände unter gleichzeitiger Erhöhung des Druckes über Atmosphärendruck Desinfektion mit Wasserdampf nach Anlegen eines Vakuums zur Luftentfernung Trocknen der Gegenstände unter Vakuum Entnehmen der Gegenstände aus der Kammer und Verpacken in Sterilisierbehälter Einlegen der Sterilisierbehälter in die Kammer und Sterilisieren mit Sattdampf.For cleaning, disinfection and sterilization of objects has a device, with an overpressure and vacuum tight chamber (4), in the chamber (4) arranged means (23) for the production of liquid aerosols and at least one source (36) for producing a vacuum in the chamber (4). The following significant steps are carried out: Precleaning by spraying with water aerosols with simultaneous increase of the pressure in the chamber above atmospheric pressure cleaning of the articles by spraying with water - and cleaning agents, in particular in the form of aerosols neutralizing with (ve -) of water and neutralizing agents with simultaneous increase of the pressure in the chamber above atmospheric pressure rinsing of the objects with simultaneous increase in the pressure above atmospheric pressure disinfection with water vapor after application of a vacuum for air removal drying the articles are under a vacuum removal o