PROBLEM TO BE SOLVED: To generate a highly precise fault image and volume data by directly correcting a projected image using such an existing geometrical error amount as the decentering of a rotational table or the inclination of a table.SOLUTION: An X-ray CT apparatus 1 for measurement is used for generating a fault image of an inspection target body W by irradiating the inspection target body W on a rotational table 16 with an X-ray while rotating the body W and re-configuring the projected image of the body W. When the fault image is generated by the apparatus, the geometric error amount in the projected amount is acquired and stored in advance, the projected image is corrected by the stored geometrical error amount, and the fault image is re-configured using the corrected projected image.SELECTED DRAWING: Figure 10COPYRIGHT: (C)2019,JPO&INPIT【課題】回転テーブルの偏心やテーブル面傾斜などの既知の幾何誤差量を利用して投影画像を直接補正することで、高精度な断層画像、ボリュームデータを生成する。【解決手段】回転テーブル16上に配置した被検体Wを回転させながらX線を照射し、その投影画像を再構成して被検体Wの断層画像を生成するようにした計測用X線CT装置1により断層画像を生成する際に、投影画像に含まれる幾何誤差量を予め取得して記憶し、該記憶された幾何誤差量を用いて投影画像を補正し、補正後の投影画像を用いて断層画像を再構成する。【選択図】図10