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安全柜以及安全柜的除污方法
专利权人:
日本AIRTECH株式会社;株式会社田村特科
发明人:
渡边直树,周乐,田村耕三,西泽裕行
申请号:
CN201680001530.5
公开号:
CN106687215A
申请日:
2016.07.07
申请国别(地区):
CN
年份:
2017
代理人:
摘要:
本发明提供一种安全柜,能够在除污中防止臭氧气体从作业室漏出,并使臭氧气体在作业室循环而对作业室进行除污。安全柜具备柜主体(1)、能够使与作业室(2)连通的开口部(3)开闭的闸门(4)、从作业室(2)排气的排气路(6)、设于排气路(6)的排气阀(B2)、设于作业室(2)的供气兼循环用风扇(P1)、向作业室(2)导入臭氧气体的臭氧产生器(13)、控制排气阀(B2)、供气兼循环用风扇(P1)以及臭氧产生器(13)的控制部(10)、以及能够利用闸门(4)将开口部(3)封闭为气密的气密封闭机构(30),以后与作业室(2)内的气体能够进行内部循环,因此能够防止臭氧气体的漏出,使臭氧气体在作业室内部循环并利用该臭氧气体在设定的CT值下对作业室进行除污。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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