KONICA MINOLTA; INC.;コニカミノルタ株式会社;KONICA MINOLTA, INC.
发明人:
YOKOYAMA, Mitsuru,横山 光,横山 光
申请号：
JPJP2014/076460
公开号：
WO2015/060093A1
申请日:
2014.10.02
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要：
An aspect of the invention is a method for manufacturing a curved grating, comprising: a grating forming step for forming a grating area on one surface of a grating-forming base material, said grating area being an area wherein a plurality of members having the same shape are periodically arranged； a stress layer forming step for forming a stress layer which causes stress on the grating surface of the grating area； a bonding step for bonding a supporting substrate on the stress layer； a polishing step for polishing the other surface of the grating-forming base material, which is on the reverse side from the one surface, when the grating-forming base material has the supporting substrate bonded thereto； and a stripping step for stripping the supporting substrate from the stress layer. The polishing step is performed so that the grating-forming base material curves from the stress caused by the stress layer after the stripping step.Selon un aspect, la présente invention porte sur un procédé de fabrication d'un réseau courbe qui comprend les étapes suivantes : la formation d'une zone de réseau sur une surface d'une matière de base formant réseau, ladite zone de réseau étant une zone dans laquelle une pluralité d'éléments ayant la même forme sont agencés périodiquement ； la formation d'une couche de contrainte qui produit une contrainte sur la surface de réseau de la zone de réseau ； la liaison d'un substrat de support sur la couche de contrainte ； le polissage de l'autre surface de la matière de base formant réseau, qui est sur le côté inverse depuis la première surface, lorsque le substrat de support est lié à la matière de base formant réseau ； le décollement du substrat de support de la couche de contrainte. L'étape de polissage est effectuée de telle sorte que la matière de base formant réseau se courbe en raison de la contrainte causée par la couche de contrainte après l'étape de décollement.本発明の一局面は、互いに同じ形状の複数の部材を周期的に設けた格子領域を格子形成母材の一方面に形成する格子形成工程と、前記格子領域の格子面の面上に、
