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演算装置及び位相像の取得方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
KONDO TAKASHI,近藤 剛史
申请号:
JP2014097149
公开号:
JP2015213574A
申请日:
2014.05.08
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an arithmetic device which acquires a phase image by integrating a differential phase image in which differential phase values are respectively acquired by using intensity information on a plurality of pixels and can acquire a phase image having high accuracy.SOLUTION: An arithmetic device 170 integrates a differential phase image to acquire a phase image. The differential phase image is a differential phase image having a plurality of differential phase values acquired by using a plurality of pieces of single intensity information included in one intensity distribution formed by a differential interferometer. Arithmetic means 170 includes weighting means 210 for weighting the differential phase image by weighting a differential phase value of a first area in the differential phase image lighter than a differential phase value of a central part, and integration means 220 for integrating the weighted differential phase image to acquire a phase image. The first area has at least one or more pixels in an end part of the differential phase image.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】 微分位相値のそれぞれが複数の画素の強度情報を用いて取得された微分位相像を積分して位相像を取得する演算装置であって、正確性が高い位相像を取得することができる演算装置を提供すること。【解決手段】 演算装置170は、微分位相像を積分して位相像を取得する。微分位相像は、微分干渉計により形成された1つの強度分布に含まれる複数の強度情報を用いて取得された1つの微分位相値を複数有する微分位相像である。演算手段170は、微分位相像のうち第1の領域の微分位相値を中央部の微分位相値よりも軽く重み付けすることで微分位相値像の重み付けを行う重み付け手段210と、重み付けされた微分位相像を積分して位相像を取得する積分手段220とを有する。第1の領域は、微分位相像の端部のうち少なくとも1つ以上の画素を有する。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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