消毒方法及等离子体消毒装置
- 专利权人:
- 爱鹿克株式会社;国立大学法人佐贺大学
- 发明人:
- 花田康史,林信哉
- 申请号：
- CN200780002347.8
- 公开号：
- CN101370527B
- 申请日:
- 2007.01.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种消毒方法。将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压(S100)。判断是否到达了3Pa(S102)，如果已经到达，则将配置于真空容器与真空泵之间的断流阀关闭(S104)。向电极供给高频功率(S106)，持续0.1秒钟地向真空容器内导入氧气(S108)，其后用3秒钟将压力保持恒定(S110)，判断真空容器内是否到达10kPa(S112)，重复进行S108～S112，直至变为10kPa。到达了10kPa后，将断流阀打开而将真空容器内减压(S114)，停止高频功率的供给(S116)。重复S100～S118，经过90分钟后，将真空容器内恢复到大气压(S120)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
