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一种压电桥式梁驱动的液体喷射结构
专利权人:
刘淑芹
发明人:
刘淑芹
申请号:
CN200820108664.X
公开号:
CN201200951Y
申请日:
2008.06.05
申请国别(地区):
中国
年份:
2009
代理人:
摘要:
本实用新型公开了属于微电子机械领域的一种压电桥式梁驱动的液体喷射结构,其结构包括:微喷孔、微槽道、压电桥式梁;在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔,作为微槽道中液体喷射驱动器的压电桥式梁位于微槽道的上部或槽道中;与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道上部或槽道中的压电桥式梁相结合构成液体喷射结构。它同时克服了基于四周固定的压电振动板式液体喷射结构和基于压电悬臂梁式液体喷射结构的缺点,它既保证了可靠性,又兼顾了工作效率,也降低了制造难度。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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