The objective of the invention is to detect the irradiation position of a charge particle beam even if a positioning fault of the charge particle beam occurs in an irradiation spot. A beam data processing apparatus (11) comprises: a plurality of channel data converting units (21) each of which converts a plurality of analog signals, which are output from a position monitor (4), to digital signals a position/size processing unit (23) that calculates a beam position on the basis of voltage information as processed by the plurality of channel data converting units (21) a fault determining unit (24) that determines the beam position and generates a positioning fault signal and a general control unit (22) that controls each of the plurality of converting units (21) such that a plurality of digital signal conversions are executed while the beam stays in the irradiation spot. Each of the converting units (21) include: a plurality of A/D converters (33) a demultiplexer (32) that distributes the analog signals and a multiplexer (34) that switches the digital signals as processed by the A/D converters for output to the position/size processing unit (23).La présente invention concerne la détection de la position dirradiation dun faisceau de particules chargées même si une erreur de positionnement du faisceau de particules chargées se produit dans un spot dirradiation. Un appareil (11) de traitement de données de faisceau comprend : une pluralité dunités de conversion de données de canaux (21) convertissant chacune une pluralité de signaux analogiques, provenant dun moniteur de position (4), en signaux numériques une unité de traitement de position/taille (23) calculant une position de faisceau sur la base dinformations de tension traitées par la pluralité dunités de conversion de données de canaux (21) une unité de détermination derreur (24) déterminant la position du faisceau et générant un signal derreur de positionnement et une unité de commande générale (22) commandant cha
