In a laser delivery system for an ophthalmic laser surgery system, a laser beam scanner employs a single or two MEMS micromirror arrays. Each micromirror in the array is capable of being independently actuated to rotate to desired angles. In one embodiment, one or two micromirror arrays are controlled to scan a laser beam in two directions. In another embodiment, a micromirror array is controlled to both correct optical aberrations in the laser beam and scan the laser beam in two directions. In yet another embodiment, a micromirror array is controlled to cause the laser beam to be focused to multiple focal spots simultaneously and to scan the multiple focal spot simultaneously. The ophthalmic laser surgery system also includes an ultrashort pulse laser, a laser energy control module, focusing optics and other optics, and a controller for controlling the laser beam scanner and other components of the system.L'invention concerne un système de distribution de laser destiné à un système de chirurgie laser ophtalmique, dans lequel un scanner à faisceau laser utilise un seul ou deux réseaux de micromiroirs MEMS. Chaque micromiroir dans le réseau peut être actionné indépendamment en vue de tourner à des angles souhaités. Dans un mode de réalisation, un ou deux réseaux de micromiroirs sont commandés en vue de balayer un faisceau laser dans deux directions. Dans un autre mode de réalisation, un réseau de micromiroirs est commandé à la fois en vue de corriger des aberrations optiques dans le faisceau laser et de balayer le faisceau laser dans deux directions. Dans encore un autre mode de réalisation, un réseau de micromiroirs est commandé en vue d'amener le faisceau laser à être focalisé sur de multiples points focaux simultanément et de balayer simultanément le point focal multiple. Le système de chirurgie laser ophtalmique comprend également un laser à impulsions ultracourtes, un module de commande d'énergie laser, une optique de focalisation et d'autres optiques, et un dis
