A method and apparatus for calibrating a sensor used to sense the concentration of vaporized hydrogen peroxide (VHP). A concentration of liquid hydrogen peroxide in an aqueous solution is determined and correlated with a corresponding concentration of vaporized hydrogen peroxide indicative of an actual vaporized hydrogen peroxide concentration. An error value is determined by comparing the actual vaporized hydrogen peroxide concentration to a measured vaporized hydrogen peroxide concentration, indicated by the sensor being calibrated. The error value is used to properly calibrate the sensor.Linvention concerne un procédé et un appareil destinés à calibrer un capteur utilisé pour détecter une concentration de peroxyde dhydrogène vaporisé. Une concentration de peroxyde dhydrogène liquide en solution aqueuse est déterminée et corrélée avec une concentration correspondante de peroxyde dhydrogène vaporisé indiquant une concentration de peroxyde dhydrogène vaporisé « réelle ». Une valeur derreur est déterminée par comparaison de la concentration de peroxyde dhydrogène vaporisé « réelle » avec une concentration de peroxyde dhydrogène « mesurée » indiquée par le capteur soumis à un calibrage. Cette valeur derreur est utilisée pour calibrer correctement le capteur.