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Field-by-field laser annealing and feed forward process control
专利权人:
Chung-Ru Yang
发明人:
Chung-Ru Yang,Chyi Shyuan Chern,Soon Kang Huang
申请号:
US12359682
公开号:
US08188447B2
申请日:
2009.01.26
申请国别(地区):
US
年份:
2012
代理人:
摘要:
A method includes dividing a semiconductor wafer into a plurality of dies areas, generating a map of the semiconductor wafer, scanning each of the plurality of die areas of the semiconductor wafer with a laser, and adjusting a parameter of the laser during the scanning based on a value of the die areas identified by the map of the semiconductor wafer. The map characterizing the die areas based on a first measurement of each individual die area.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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