一种自动化移植板高低差检测仪器
- 专利权人:
- 昆山昆尚电子科技有限公司
- 发明人:
- 胡茂尚
- 申请号：
- CN201721781801.1
- 公开号：
- CN207556476U
- 申请日:
- 2017.12.19
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 张欢勇
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种自动化移植板高低差检测仪器，其本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X‑Y轴运动系统和对位补偿板；所述X‑Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪。本自动化移植板高低差检测仪器经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
