OBSHCHESTVO S OGRANICHENNOJ OTVETSTVENNOSTJU "NANOLEK"
发明人:
SULDIN ALEKSANDR VLADIMIROVICH,Сульдин Александр Владимирович,DORONIN ALEKSANDR NIKOLAEVICH,Доронин Александр Николаевич
申请号：
RU2014130139/05
公开号：
RU0002553913C1
申请日:
2014.07.22
申请国别(地区):
RU
年份:
2015
代理人:
摘要：
FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method includes the following steps: obtaining pores under the effect of electrolysis in a plate with thickness of 700-730 mcm and area of up to 32 cm2 of monocrystalline silicon, which is the anode, with p-type conductivity, doped with boron with concentration of about 10-19 cm-3, with resistivity of 3-7·10-3 ohm·cm, the surfaces of which are directed in parallel to the crystallographic planes in a glass-carbon cup, which is the cathode wherein the electrolyte used is a solution consisting of different volume parts of hydrofluoric acid and ethyl alcohol subsequent separation of the obtained porous layers from the remaining part of the bulk crystal by increasing the applied voltage by 5-90%, which changes the mechanism of the electrochemical process and switches from pore-formation to continuous polishing etching washing the separated layers in ethanol and drying in air, followed by stepwise thermal annealing and grinding to fine powder state. Annealing is carried out first for 2 hours at 250°C and then for 20 minutes at 650°C in a hydrogen atmosphere.EFFECT: obtaining silicon biocompatible nanocarriers with porosity of 40-80% and size of end-to-end pores of 5-20 nm.3 cl, 7 dwgИзобретение относится к области наноструктурированных биосовместимых материалов, в частности к пористому кремниевому наноносителю. Способ включает следующие этапы - получение пор под действием электролиза в пластине толщиной 700-730 мкм и площадью до 32 см2 монокристаллического кремния, являющейся анодом, p-типа проводимости, легированной бором с концентрацией около 10-19 см-3, с удельным сопротивлением 3-7·10-3 Ом·см, поверхности которой ориентированы параллельно кристаллографическим плоскостям в стеклоуглеродном стакане, являющемся катодом. Причем используют в качестве электролита раствор из равных по объему частей плавиковой кислоты и этилового спирта. Проводят последующее отделение полученных пористых слоев от оставшейся части объемного кристалла путем увеличени
