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Detector and measuring device and method for determining the thickness of a sample
专利权人:
VisioCraft GmbH
发明人:
Holger, Dr. Brünner
申请号:
DE102010044826
公开号:
DE102010044826B4
申请日:
2010.09.09
申请国别(地区):
DE
年份:
2018
代理人:
摘要:
Detektor (8), dem von einer in einer OCT-Anordnung (2) positionierten Probe (4) rückgestreutes Licht zugeführt wird, ausgebildet zur gleichzeitigen, zweidimensional ortsauflösenden Registrierung von mehreren spektral-aufgelösten Intensitätsverteilungen (25) des rückgestreuten Lichtes, wobei jede Intensitätsverteilung (25) einem diskreten Punkt an der Probenoberfläche (10) zugeordnet ist, wobei der Detektor (8) eine Abbildungsoptik (13) und einen zweidimensionalen Lichtsensor (14) aufweist, auf den die Intensitätsverteilungen (25) abgebildet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik (13) eine Mikrolinsenanordnung (15) und ein dispersives optisches Element in Form eines Volumengitters (16) umfaßt, wobei das Volumengitter (16) ein diffraktives optisches Element in Form eines computergenerierten Hologramms ist.Detector (8) to which backscattered light from a sample (4) positioned in an OCT arrangement (2) is fed, for the simultaneous, two-dimensional spatially resolved registration of a plurality of spectrally resolved intensity distributions (25) of the backscattered light, each intensity distribution ( 25) is associated with a discrete point on the sample surface (10), the detector (8) having imaging optics (13) and a two-dimensional light sensor (14) onto which the intensity distributions (25) are imaged, characterized in that the imaging optics (13) comprises a microlens array (15) and a dispersive optical element in the form of a volume grating (16), wherein the volume grating (16) is a diffractive optical element in the form of a computer generated hologram.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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