一种纹理识别压力传感器阵列及其制作方法
- 专利权人:
- 清华大学深圳研究生院
- 发明人:
- 张旻,刘易鑫
- 申请号：
- CN201910448528.8
- 公开号：
- CN110044523A
- 申请日:
- 2019.27.05
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种纹理识别压力传感器阵列及其制作方法,该传感器阵列包括压力敏感层、分别设置在压力敏感层两侧的两个电极层和包裹压力敏感层与电极层的聚合物弹性体,压力敏感层包括激光诱导多孔石墨烯薄膜,聚合物弹性体填充于激光诱导多孔石墨烯薄膜的孔隙内,激光诱导多孔石墨烯薄膜形成图形化阵列结构,压力敏感层一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的横向电极阵列,压力敏感层另一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的纵向电极阵列,横向电极阵列和纵向电极阵列电极在图形化阵列结构所在的压力敏感区交错分布。由此实现微尺寸、高密度、可检测压力大小和分布的压力传感器阵列,具有阵列化压力触觉感知能力和纹理识别功能。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
