基于压电桥式梁的液体喷头
- 专利权人:
- 刘淑芹
- 发明人:
- 刘淑芹
- 申请号：
- CN200810114270.X
- 公开号：
- CN101284263A
- 申请日:
- 2008.06.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了属于微电子机械领域的一种基于压电桥式梁的液体喷头。其主要结构包括：微喷孔、微槽道、压电桥式梁；其主要特征在于：在液体喷头外表面设置与微槽道相通的微喷孔，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电桥式梁位于液体微槽道的上部或槽道中，作为微槽道中液体喷射的驱动器；上述相互对应的微喷孔、微槽道、液体微槽道上部或槽道中的压电桥式梁相结合构成液体喷射结构；在电压的驱动下，压电桥式梁产生形变，驱动微槽道中的液体从与微槽道相通的微喷孔中喷出。它同时克服了基于四周固定的压电振动板式液体喷头和基于压电悬臂梁式液体喷头的缺点。既保证了喷头工作可靠，又兼顾了喷头的工作效率，也降低了制造难度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
