PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve significant size reduction while enhancing performance in a pump unit.SOLUTION: Micropumps 500 are arranged in a lattice pattern with rows and columns, and a discharge port of at least a micropump 500 arranged in the most downstream row is connected to an integrated discharge port. The pump unit further includes: a discharge direct-connection mechanism for connecting respective discharge ports of a plurality of micropumps in a middle row directly to the integrated discharge port； an intake direct-connection mechanism for connecting respective intake ports of the micropumps directly to a fluid to be supplied first； a series-connection mechanism for connecting a discharge port of a micropump in an upstream row directly to an intake port of a micropump in a downstream row； and a controller for controlling the mechanisms.【課題】ポンプユニットにおいて、能力を向上させながらも、大幅な小型化を達成する。【解決手段】マイクロポンプ５００を行と列の関係となる格子状に配置し、少なくとも最下流行のマイクロポンプ５００の吐出口を統合吐出口に接続する。更に、中間行の複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、同マイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、上流行のマイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、これらを制御する制御装置を備えるようにした。【選択図】図１
