光测量装置
- 专利权人:
- 日立视听媒体股份有限公司
- 发明人:
- 大泽贤太郎,渡辺康一,富田大辅
- 申请号：
- CN201310573943.9
- 公开号：
- CN103961056A
- 申请日:
- 2013.11.15
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 提供一种不需要进行反射镜的扫描、且不使用波长扫描型光源和分光器而能够获取测定对象的像的小型且廉价的光测量装置。将从光源(401)出射的激光分支为第1光束和第2光束，将第1光束作为信号光通过透镜(406)向测定对象(409)聚光照射，将第2光束不向测定对象照射而作为参照光在反射镜(411)上反射，将通过测定对象反射或散射的信号光与参照光合波后入射到干涉光学系统(412)，生成相位关系互不相同的三个以上的干涉光并由光检测器(417、422)进行检测，由信号处理部(424)运算检测信号。在测定时至少在光轴方向上扫描透镜(406)的第1光束的聚光位置。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
