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平面形状測定装置及び平面形状算出システム
- 专利权人:
- 株式会社ミツトヨ
- 发明人:
- 奈良 正之
- 申请号：
- JP20150121776
- 公开号：
- JP2017009304(A)
- 申请日:
- 2015.06.17
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高精度な平面度測定を実現する平面形状測定装置及び平面形状算出システムを提供する。【解決手段】オートコリメータ１０１は、光線Ｆ１を出射するとともに、光線Ｆ１と光線Ｂ１との角度を測定する。第１ペンタプリズム１０２は、光線Ｆ１を直角に反射させた光線Ｆ２を出射する。第２ペンタプリズム１０３は、光線Ｆ２を直角に反射させた光線Ｆ３を被測定面２００Ａに対して出射する。また第２ペンタプリズム１０３は、被測定面２００Ａが光線Ｆ３を反射した光線である光線Ｂ３を直角に反射した光線Ｂ２を第１ペンタプリズム１０２に対して出射する。第１ペンタプリズム１０２は、光線Ｆ２をオートコリメータ１０１の方向に直角に反射させることにより光線Ｂ１を出射する。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
