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SPECTROSCOPIC MEASUREMENT DEVICE
专利权人:
고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人:
이시마루 이치로
申请号:
KR1020157008521
公开号:
KR1016834080000B1
申请日:
2013.10.02
申请国别(地区):
KR
年份:
2016
代理人:
摘要:
A spectroscopic measurement apparatus according to the present invention includes a splitting optical system for splitting a measurement light flux emitted from a plurality of measurement points located within a measurement area of an object to be measured into a first measurement light flux and a second measurement light flux, An optical path length difference giving means for giving a continuous optical path length difference distribution between the first measurement light flux and the second measurement light flux and an optical path length difference giving means for detecting the intensity distribution of the interference light corresponding to the continuous distribution of the optical path length A processing section for obtaining an interferogram of the measurement point of the object to be measured based on the light intensity distribution of the interference light detected by the detection section and acquiring a spectrum by Fourier transforming the interferogram; A conjugate plane imaging optical system disposed between the water and the splitting optical system, the conjugate plane imaging optical system having a common conjugate plane with the splitting optical system, And a periodicity of the application means that the spatial periodic modulation on the measurement light beam launched from the measuring point.본 발명의 분광 측정 장치는 피측정물의 측정 영역 내에 위치하는 복수의 측정점으로부터 각각 발사된 측정광속을 제1 측정광속 및 제2 측정광속으로 분할하는 분할 광학계와, 제1 측정광속 및 제2 측정광속을 간섭시키는 결상광학계와, 제1 측정광속 및 제2 측정광속의 사이에 연속적인 광로 길이차 분포를 주는 광로 길이차 부여 수단과, 광로 길이의 연속적인 분포에 상응하는 간섭광의 강도 분포를 검출하는 복수의 픽셀을 포함하는 검출부와, 검출부에서 검출되는 간섭광의 광강도 분포에 기초하여, 피측정물의 측정점의 인터페로그램을 구하고, 이 인터페로그램을 푸리에 변환함으로써 스펙트럼을 취득하는 처리부와, 피측정물과 분할 광학계의 사이에 배치된, 그 분할 광학계와 공통의 공역면을 가지는 공역면 결상광학계와, 공역면에 배치되어 복수의 측정점으로부터 발사된 측정광속에 공간적인 주기 변조를 주는 주기성 부여 수단을 구비한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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