PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a container filling system and an electron beam sterilization unit for controlling the flow of ozone into a filler section and for securing the cleanness of air in the filler section.SOLUTION: This container filling system 1 includes a section 34 for electron beam sterilization which irradiates a container with electron beams for sterilizing the container and a filler section 37 for filling a content in the container which has passed the section 34. This container filling system 1 includes a downstream chamber 35 which is positioned downstream in the container transfer direction relative to the section 34 and upstream in the container transfer direction relative to the filler section 37 and which has a room pressure P5 lower than a room pressure P4 of the section 34.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】フィラ部へのオゾンの流入を抑制できると共にフィラ部の空気清浄度を確保できる容器充填システムおよび電子線殺菌ユニットを提供すること。【解決手段】この容器充填システム1は、容器に電子線を照射して容器を殺菌処理する電子線殺菌部34と、この電子線殺菌部34を通過した容器に内容物を充填するフィラ部37とを備えている。また、容器充填システム1は、電子線殺菌部34に対して容器搬送方向下流側かつフィラ部37に対して容器搬送方向上流側に配置されると共に電子線殺菌部34の室圧P4よりも低い室圧P5を有する下流側チャンバ35を備えている。【選択図】図1