观察装置及观察方法
- 专利权人:
- 浜松光子学株式会社
- 发明人:
- 高桥聪,松田俊辅,宫下贵行,三轮光春
- 申请号：
- CN201780083962.X
- 公开号：
- CN110192101A
- 申请日:
- 2017.12.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 观察装置(1)是观察观察对象(S)的观察装置,具备:照射用光源(2),其产生照射光(L1);投影用光源(3),其产生投影光(L2);扫描镜(10),其朝向观察对象(S)以同一光路扫描照射光(L1)与投影光(L2);导光光学系统(G),其不经由扫描镜(10)而将对应于照射光(L1)的照射而在观察对象(S)产生的被检测光(L3)进行导光;光检测器(5),其检测由导光光学系统(G)导光的被检测光(L3);及控制部(6),其基于被检测光(L3)的检测结果而控制投影光(L2)的强度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
