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Gradio sensor element and gradio sensor
专利权人:
マグネデザイン株式会社
发明人:
本蔵 義信
申请号:
JP2016092198
公开号:
JP6021238B1
申请日:
2016.04.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
A Gradio sensor element that uses a GSR sensor, which is an ultra-sensitive micro-magnetic sensor, has a magnetic field detection capability comparable to that of a SQUID, does not require a cryogenic maintenance device and a magnetic shield room, and is a handy, compact and inexpensive And a gradio sensor. A plurality of GSR sensor elements, which are ultra-sensitive micro magnetic field detection elements, are arranged in the Z direction on the plane of a substrate 101, and two concave groove guides 14 parallel to the elements and two parallel groove guides 14 on the substrate side. By fitting with the convex guide 15 of the book, the deviation from the reference line is eliminated, the characteristics of the plurality of magnetic field detecting elements are matched, the external magnetic field noise is reduced, and the magnetic shield room is unnecessary. is there. [Selection] Figure 1【課題】超高感度マイクロ磁気センサであるGSRセンサを活用して、SQUIDに匹敵する磁界検出能を有しかつ極低温維持装置と磁気シールドルームが不要で、ハンディで小型・安価なグラジオセンサ素子およびグラジオセンサを提供する。【解決手段】超高感度マイクロ磁界検出素子であるGSRセンサ素子を基板101平面上に、Z方向に複数個配置し、素子の平行な2本の凹形状溝ガイド14と基板側の平行な2本の凸形状ガイド15とを嵌合することによって基準線からのずれをなくして複数個の磁界検出素子の特性を一致させ、外部磁界ノイズを低減して、磁気シールドルームを不要とするものである。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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