Effectively or try to be able to decrease from temperature rise of illumination optical system and ring slit image formation expedient to be able to prevent. As for illumination optical system and ring slit image formation expedient to receive to the 1st frame, because you receive the illuminant to another frame, temperature rise of the illumination optical system and the like which accompanies the heat generation of the said illuminant can be decreased. In addition, portion of the aforementioned 1st frame, in order the side of the aforementioned 1st frame to project, forming, to form the air intake in the underside of the part of that, as it forms the air hole pickup in the surface of the part of that, because it arranges the fan, it is possible, to cool the aforementioned illuminant effectively, from temperature rise of the illumination optical system and the like which accompanies the heat generation of the said illuminant it is possible effectively to decrease or to prevent, or.照明光学系及びリングスリット結像手段の温度上昇をより効果的に低減又は防止できるようにする。照明光学系及びリングスリット結像手段は第1の筐体に収納し、光源は別の筐体に収納しているので、該光源の発熱に伴う照明光学系等の温度上昇を低減できる。また、前記第1の筐体の一部は、前記第1の筐体の側方突出するように形成しておいて、その部分の下面には空気取り入れ口を形成し、その部分の上面には空気取り出し口を形成すると共にファンを配置するので、前記光源を効果的に冷却することができ、該光源の発熱に伴う照明光学系等の温度上昇をより効果的に低減又は防止することができる。
