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PIEZOELECTRIC ELEMENT AND PIEZOELECTRIC ELEMENT APPLICATION DEVICE
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
YONEMURA TAKAYUKI,米村 貴幸,KOJIMA CHIKARA,小島 力,O SHOKO,王 小興,ISSHIKI TETSUYA,一色 鉄也,ITAYAMA YASUHIRO,板山 泰裕
申请号:
JP2017058613
公开号:
JP2018163899A
申请日:
2017.03.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric element and a piezoelectric element application device that can reduce lattice defects to achieve a superior piezoelectric characteristics.SOLUTION: A piezoelectric element comprises: a diaphragm; a first electrode that is formed on the diaphragm; a piezoelectric layer being a laminated body in which a plurality of piezoelectric films formed on the first electrode are laminated; and a second electrode that is formed on the piezoelectric layer. And the piezoelectric layer is made of perovskite complex oxide expressed by a general formula ABOcontaining lead, zirconium and titanium, a molar ratio (A/B) of an A site relative to a B site of the perovskite complex oxide is more than or equal to 1.14 and is less than or equal to 1.22, and when a current amount at time converting current from decrease to increase is defined as relaxation current in current-time curve measurement, activation energy calculated from the relaxation current by an Arrhenius-plot is less than or equal to 0.6 [eV].SELECTED DRAWING: Figure 18【課題】格子欠陥を低減して高い圧電特性を達成することが可能な圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。【解決手段】振動板と、振動板上に形成された第1電極と、第1電極上に形成された複数の圧電体膜が積層されてなる積層体である圧電体層と、圧電体層上に形成された第2電極とを有する圧電素子であって、圧電体層は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含んだ一般式ABO3で表されるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、ペロブスカイト型の複合酸化物のBサイトに対するAサイトのモル比(A/B)が1.14以上1.22以下であり、電流時間曲線測定において、電流が減少から増加に転じる時間における電流量を緩和電流としたとき、前記緩和電流からアレニウスプロットにより算出された活性化エネルギーが0.6[eV]以下である。【選択図】図18
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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