INC.;WHITNEY, Peter S.;AXSUN TECHNOLOGIES;KUZNETSOV, Mark E.;FLANDERS, Dale C.;AXSUN TECHNOLOGIES, INC.;ATIA, Walid A.;COOK, Christopher C.;GETZ, James W.
发明人:
FLANDERS, Dale C.,GETZ, James W.,ATIA, Walid A.,WHITNEY, Peter S.,KUZNETSOV, Mark E.,COOK, Christopher C.
申请号：
USUS2011/022375
公开号：
WO2011/091408A4
申请日:
2011.01.25
申请国别(地区):
US
年份:
2012
代理人:
摘要：
An optical probe for emitting and/or receiving light within a body comprises an optical fiber that transmits and/or receives an optical signal, a silicon optical bench including a fiber groove running longitudinally that holds an optical fiber termination of the optical fiber and a reflecting surface that optically couples an endface of the optical fiber termination to a lateral side of the optical bench. The fiber groove is fabricated using silicon anisotropic etching techniques. Some examples use a housing around the optical bench that is fabricated using LIGA or other electroforming technology. A method for forming lens structure is also described that comprises forming a refractive lens in a first layer of a composite wafer material, such as SOI (silicon on insulator) wafers and forming an optical port through a backside of the composite wafer material along an optical axis of the refractive lens.La présente invention concerne une sonde optique permettant d'émettre et/ou de recevoir de la lumière à l'intérieur d'un corps et qui comprend une fibre optique qui émet et/ou reçoit un signal optique, un banc optique en silicium comprenant une rainure de fibre longitudinale qui contient une terminaison de fibre optique de la fibre optique et une surface réfléchissante qui couple optiquement une face terminale de la terminaison de fibre optique avec un côté latéral du banc optique. La rainure de fibre est fabriquée à l'aide de techniques de gravure anisotrope du silicium. Certains exemples utilisent autour du banc optique un logement fabriqué à l'aide de la technologie LIGA ou d'une autre technologie d'électroformage. L'invention concerne également un procédé de formation d'une structure de lentille qui consiste à former une lentille réfractaire dans une première couche d'un matériau de tranche composite, tel que des tranches SOI (silicium sur isolant), et à former un port optique à travers un côté arrière du matériau de tranche composite le long d'un axe optique de la
