The present invention relates to an active scanning apparatus capable of adjusting a beam size and a method thereof, including a scatter for varying a beam size between a scanning magnet and a beam monitor to vary the beam size in the order suitable for a shape and a state of a beam radiation area, and radiate beam with an adjusted size, so as to increase efficiency of a scanning operation. The apparatus comprises: a scanning magnet to radiate a particle beam accelerated by power supply by a scanning magnet power supply (SMPS) and current control of a magnet coil a scatter placed in the front side of the scanning magnet to vary the beam size a beam monitor to calculate the intensity of the radiated beam, beam profile measurement and a beam position, load an inspection plan, and perform beam intensity/position comparison and a modulator to vary a range of the radiated beam.COPYRIGHT KIPO 2016본 발명은 스캐닝 마그넷과 빔 모니터의 사이에 빔 사이즈를 가변시킬 수 있는 스캐터를 구비하여 빔 조사 영역의 형태 및 상태에 적합한 순서로 빔 사이즈를 가변시켜 조사하여 스캐닝 동작의 효율성을 높인 빔 사이즈 조정이 가능한 액티브 스캐닝 장치 및 방법에 관한 것으로, SMPS(Scanning Magnet Power Supply)에 의한 전력 공급 및 마그넷 코일의 전류 제어에 의해 가속된 입자 빔을 조사하는 스캐닝 마그넷스캐닝 마그넷 전방에 위치하여 빔 사이즈를 가변하는 스캐터조사되는 빔의 세기(Beam Intensity),빔 프로파일(Beam Profile) 측정 및 빔 포지션(Beam Position) 계산하고 조사 계획 로딩 및 빔의 세기/빔 포지션 비교를 수행하는 빔 모니터조사되는 빔의 레인지 가변을 위한 모듈레이터를 포함하는 것이다.
