ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE;한국전자통신연구원
发明人:
아칠성,박찬우,변춘원,권오은,이정익,황치선,AH CHIL SEONG,PARK CHAN WOO,BYUN CHUN WON,KWON O EUN,LEE JEONG IK,HWANG CHI SUN
申请号：
KR1020190040161
公开号：
KR1020200063021A
申请日:
2019.04.05
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要：
The method of manufacturing the electrode array of the present invention comprises the steps of depositing a plurality of active electrodes on a substrate using a deposition process； And performing a chemical electroless plating process to simultaneously plate a plating layer having a 3D nanostructure shape on the plurality of active electrodes.본 발명의 전극 어레이의 제조 방법은 증착 공정을 이용하여 기판 상에 다수의 활성 전극을 증착하는 단계； 및 화학적 무전해 도금 공정을 진행하여 상기 다수의 활성 전극 위에 3차원 나노구조체 형상을 갖는 도금층을 동시에 도금(plating)하는 단계를 포함한다.
