CHO, IL JOO,조일주,YOON, EUI SUNG,윤의성,KIM, YANG HEE,김양희
申请号：
KR1020110115643
公开号：
KR1012507940000B1
申请日:
2011.11.08
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要：
PURPOSE: A structure having a micro fluid channel and a manufacturing method thereof are provided to form a fluid channel without increasing the total thickness.CONSTITUTION: A structure having a micro fluid channel includes a wafer(120) formed with a micro fluid channel which is concavely carved on the silicon surface of the wave by an etching process and a sheet of glass(140) polished to form a continuous surface with the surface of the wafer. The glass is bonded by covering the upper part of the micro channel of the wafer in a vacuum state. The glass is polished to have the continuous surface with the surface of the wafer after a part of the glass is melted by a reflow process inside the fluid channel to a fixed depth.COPYRIGHT KIPO 2013본 발명은 미소 유체 채널을 갖는 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 용액이 유동할 수 있는 미소 유체 채널을 갖는 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 미소 유체 채널을 갖는 구조체는, 에칭 공정으로 실리콘 표면을 오목하게 식각하여 형성되는 하나 이상의 미소 유체 채널이 형성된 웨이퍼 및 상기 웨이퍼의 미소 유체 채널의 상부를 커버하며, 상기 웨이퍼의 표면과 연속되는 면을 형성하도록 연마되는 유리를 포함하며, 상기 유리는 진공 상태에서 상기 웨이퍼의 미소 유체 채널의 상부를 커버하도록 접합되며, 리플로(reflow) 공정을 통해 상기 미소 유체 채널의 내측으로 소정 깊이 녹아내린 후, 상기 웨이퍼의 실리콘 표면과 연속되는 면이 되도록 연마된다.
